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- 臭氧和水ALD工艺中DMACl基Al2O3膜主体中元素浓度的比较
臭氧和水ALD工艺中DMACl基Al2O3膜主体中元素浓度的比较 DMACl-臭氧作为ALD过程 在ALD工艺中，每周期生长量(GPC)是描述薄膜生长的重要参数。如果GPC在ALD生长潜伏期后达到恒定值，则表明生 . . .
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