臭氧和水ALD工艺中DMACl基Al2O3膜主体中元素浓度的比较

臭氧和水ALD工艺中DMACl基Al2O3膜主体中元素浓度的比较 DMACl-臭氧作为ALD过程 在ALD工艺中，每周期生长量(GPC)是描述薄膜生长的重要参数。如果GPC在ALD生长潜伏期后达到恒定值，则表明生