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实验现场
实验内容：ALD
臭氧机型：Atlas H30和3S-J5000
中科院-高浓度臭氧发生器用于ALD
该臭氧发生器浓度可达300mg/L，搭配3S-J5000臭氧检测仪对浓度进行实时检测。
高浓度臭氧发生器在ALD（原子层沉积）中有广泛的应用。ALD是一种薄膜沉积技术，通过周期性的气相反应，一层一层地沉积原子尺度的薄膜。臭氧在ALD中通常用作氧化剂，与金属有机前体反应，形成金属氧化物薄膜。
高浓度的臭氧发生器能够提供更高的臭氧浓度，这对于快速且均匀地进行ALD过程至关重要。这种设备通常需要严格的控制和安全措施，以确保在工艺中保持稳定的气相条件，从而获得高质量的薄膜沉积。
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